低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优势的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。
电晕放电型等离子的优势：
1，与双介质相比，电晕放电等离子设备更加经济。
2，由于电晕放电材质为不锈钢材质+特殊合金丝，所以耐用而且应用范围广泛。
3，所形成的电场为蜂窝状电场，会产生大量的高能电子对有机废气进行破坏。
4，低温等离子废气处理设备属于高电压低电流的设备，因此功率低，能耗小，运行成本低。
5，便于维护保养，反应器需要清理时，只需抽出反应器进行维护保养即可。
介质阻挡放电型等离子的优势：
介质阻挡放电过程中，等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2、CO和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。适用范围广，净化效率高，尤其适用于其它方法难以处理的多组分恶臭气体，如化工、医药等行业。